本报讯 8月22日，南化公司超高纯化学品攻关取得里程碑式突破，G4级电子级硫酸装置连续稳定运行满15天，标志着该公司成功攻克该等级无机湿电子化学品量产技术。
作为半导体制造中用量最大的湿电子化学品之一，电子级硫酸被誉为芯片的“清洁剂”。按照SEMI（国际半导体产业协会）标准，G4级产品要求金属离子杂质含量低于百亿分之一。当前，国内半导体用G4及以上级别电子级硫酸长期依赖进口。
南化公司研发团队持续优化工艺参数，通过长周期运行试验，成功破解了微量杂质管控、分离稳定性、洁净灌装防污染等难题，产品通过SGS（瑞士通用公证行）检测认证，且具备向最高标准G5级迭代的技术潜力。
当前，该公司已系统提炼形成成套工艺管控方案，并将成熟经验应用于电子级硝酸、电子级盐酸的工艺包开发，加速构建拥有自主知识产权的湿电子化学品技术体系。
（张兴梅 郑 瑞）
（责任编辑：蒋文娟
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